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超高真空系統(tǒng)密封連接常用的是國標超高真空法蘭,采用刀口密封結(jié)構(gòu)和無氧銅平墊圈，可以滿足超高真空密封，應用技術(shù)較為成熟。超高真空法蘭一般采用不銹鋼制造，其強度硬度均能滿足密封要求，且不銹鋼生產(chǎn)制造技術(shù)成熟，應用廣泛。

本標準規(guī)定了內(nèi)焊型、松套型、盲型超高真空法蘭（以下簡稱法蘭）和銅密封墊的型式、尺寸及技術(shù)要求。   

本標準適用于超高真空系統(tǒng)中公稱通徑為16mm～250mm用銅墊密封的不銹鋼法蘭及銅密封墊。

標準參數(shù)內(nèi)容如下：